{avatar:if('O3 System'=='产品中心')}
O3 System
{else}O3 System
{/avatar:if}产品中心
O3 System
O3 System
产品介绍
产品概要
·用无声放电法把 O2转化为高浓度，高流速的 O3应用到半导体工艺
产品特性
·高纯度，高浓度臭氧
·无消耗品，节省费用
·小型化及模块化
·O2 流量范围可实现工艺灵活性调整
·经验证的Cell结构设计可生产高浓度臭氧
·闭环操作，更严格的过程控制
·高氧化还原电位