Protection AGV
产品中心
Protection AGV
TVPS-MF125S42
产品介绍
产品概要
用途:安装在 Vacuum Pump 前端，使 主设备及 Fore-line 和 Vacuum Pump 进行隔离。
· 为了保持设备或Fore-line清洁度和真空度.免受因Pump异常状态和作业等引起的污染，必要时进行隔离。
· 正常Process以外设备或Fore-line作业时，从上部Condition到Pump 进行隔离，防止Pump过载或受污染。可防止设备或Fore-line 作业时，Pump 停止后重启而导致的Fail现象。
· Pump Trip时快速关闭，从而防止或*小化 背压 & 污染源逆流现象,→保护Chamber和Wafer免受Particle 等污染。
产品性能
· Soft Pumping 功能；
· Quick Closing (0.4~0.6s)；
· 通过Pump/设备端通信可 Auto Close及Monitoring；
· Powder & Particle Protection 功能；
· Powder 多的工艺适用；