15KW PPS
产品中心
15KW PPS
15KW PPS
产品介绍
产品概要
·安装在 Chamber 和 Vacuum Pump之间用Plasma分解Gas的系统
产品用途
·减少地球温室效应 Gas（ N2O, NF3, CH4, SF6…）的排放量为目的
·解决环境问题及FAB内环境安全问题
·分解Vacuum Line中生成的制程物，以安全Gas和Powder形式排放
·有助于Vacuum Pump及 Scrubber的MTBF延长
适用Process
·High-K ZrO2 , HfO2, Harp USG Process 等等